LAYERS 5 - 低损伤CMOS

硅基光电子（SiP）是光子取代电子作为信息载体的媒介，是20世纪两项最重要的发明的组合，即硅集成电路（IC）和半导体激光器。Evatec 的工艺工程师Andreas Frigg解释说，在CLUSTERLINE® 200上进行反应溅射是一种有前途的新工艺，该工艺可用于具有成本效益的SiN沉积，用于波导等应用，可实现数据中心的快速增长。

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