LAYERS 5 - 混合模式光学监控

在同一镀膜过程中受益于单光谱和宽光谱算法。

具有高信号质量的宽光谱监控可以在镀光学干涉涂层时，在同一过程中同时使用宽光谱和单色层终止算法。Evatec 的Stephan Waldner，Juergen Buchholz和Rico Benz在案例研究中使用了带通滤波器和吸收层，以展示这种“混合”方法如何引导最准确的层终止。

介绍

实时光学监控是用于开发和生产光学干涉膜层的最新镀膜机台的重要组成部分。通过在薄膜生长过程中测量产品或特定监控器基板上的透射率或反射率，基于膜层的实际光学性能来控制每一层的终止。

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