无论您需要手动传送还是自动传送，标准蒸镀距离或加长蒸镀距离。请参阅我们的机型尺寸概述，以帮助您在选择最佳系统配置之前先找到合适的机型尺寸。

我们的BAK机台具有很大的灵活性。可从“标准蒸镀距离”或"Lift Off"工艺中进行选择。适用于半导体，光电和光学镀膜的全应用范围。根据您的工艺要求和晶圆厂的整合需求可添加“分离式腔体”和“辅助装载”等选项。

Evatec 在开发高性能的蒸镀源技术和定制化基板装载的解决方案方面具有丰富的经验。我们所有的蒸镀源和基板装载方案都是专为7x24小时生产而设计的。

基于Evatec积累50年蒸镀机生产机台的经验，我们提供一系列的配置方案和辅助装载选项，为您配置最适合您使用的BAK机台。