步骤1：确认您需要的产量  

首先，根据您的基板尺寸和预设的批量生产片数来选择基本的机型尺寸。点击此处查看不同系统尺寸的生产产量图表。

步骤2：选择您需要的蒸镀源，工艺所需的其它配件和控制技术  

快速查看我们的蒸镀源和工艺配件等产品组合，请点击此处-从喷射式蒸镀源(effusion cells)和数位扫描式的电子枪，再到用于PIAD的腔体加热器和离子源。

了解Evatec 先进工艺控制技术 (APC) 请点击此处。

步骤3：根据您的工艺条件和晶圆厂整合要求来定制BAK机台

探索其他自定义选项构建最适合您的BAK机台。

• "Lift-Off"蒸镀机系列针对工艺的几何尺寸加长了蒸镀距离，使侧壁阶梯覆盖率为零。
• "分离式腔体"设计专供敏感性镀膜材料并缩短批量运行周期时间。
• 自动装载选项包括单晶圆传送，辅助伞架装载或从前端晶圆盒到镀膜腔的全自动装载。

步骤4：从Evatec 的Unicalc解决方案中得到助益

无论您选择哪种配置，我们BAK系列所有机台都拥有50年的工艺技术。Evatec 的Unicalc解决方案能将膜厚均匀性修正挡板优化到最小尺寸，是加快镀膜速率，提高产量，并减少关键工艺中贵金属材料消耗的理想方法。想要了解Unicalc更多信息，请点击此处。

步骤5：下载BAK系列宣传册

下载完整版BAK系列宣传册请点击此处或浏览网站的最新更新。

您已经有BAK 机台了吗？

您是否想延长现有BAK机台使用寿命，配置新的工艺功能或最新的现代化控制系统？点击此处下载我们的翻新改造手册。