从汽车到智能移动设备应用，Evatec的蒸发和溅射平台配备了先进工艺控制技术，为精密光学膜层的大规模量产提供了最佳的拥有成本。

无论是生物识别传感还是增强现实，我们的生产平台都能实现滤光片、增透膜、布拉格反射膜和其他高性能薄膜的沉积，包括类金刚石膜层和防污涂层。Evatec的工艺提升了智能设备的传感器、摄像头、触摸屏以及汽车仪表盘性能。3D装饰膜和功能膜的性能也被提升到了新的水平。

先进工艺控制

Evatec生产平台集成了一系列的闭环工艺控制技术，以提高精度和产量。

• 宽光谱和混合光学监测，在蒸发或溅射沉积过程中实时调整膜系，实时再优化
• 等离子体辉光光谱监测用于完美的化学计量控制和更高的溅射产量

• 蒸发和溅射过程中的光学测温，加强温度控制和工艺稳定性。
• 光学工具箱确保了从膜系设计到制程生成，以及镀膜过程执行的整个过程顺利整合。缩短您的工艺开发时间，并提高您的产量。

点击这里下载光学监控手册，了解更多关于实时再优化、混合模式监测（宽光谱和单色模式），并阅读其他案例研究，了解如何优化您的光学薄膜生产。

晶圆级光学器件

为确保晶圆级光学应用中高产量所必需的工艺重复性和低颗粒度，需要采用全自动的晶元盒到晶元盒式生产技术，消除所有的手动操作。了解更多关于其典型应用的信息，包括生物识别传感和结构化滤光片镀膜，由Evatec在我们的CLUSTERLINE 200 BPM设备上提供支持，见我们的晶圆级光学应用手册。

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智能眼镜

从汽车到航空电子设备和智能设备消费应用，我们支持一系列增强现实/混合现实（AR/MR）应用中所需要的薄膜沉积。典型所需薄膜层包括光波导、分光器、TCO、DBR和抗反射膜层，可以根据应用、基片尺寸和产量在一系列Evatec平台上进行沉积。Evatec的工艺知识也支持高效传送和在聚合物基材上的保护膜层。

精密光学仪器

Evatec的先进工艺控制技术，包括宽光谱光学监测，支持蒸发或溅射工艺在紫外、可见光和红外的广泛应用。在Evatec的BAK平台上进行蒸发，为广泛的2.5和3D基片几何形状提供了灵活的生产解决方案。CLUSTERLINE 200 BPM平台提供晶元盒到晶元盒式的溅射解决方案，并使用定制阴极技术以提高精度和降低颗粒度。高度灵活的MSP完善了Evatec的大规模生产组合从边缘发射式激光器（EELS）到光纤，我们的应用团队拥有70多年的基片处理经验和工艺知识，支持精密光学镀膜应用。

功能性薄膜

通过改变颜色或使用日常保护薄膜来增强我们的光学和光电设备，需要以适当的单位成本提供数量和工艺重复性的涂层解决方案。像SOLARIS这样的连续式解决方案可以提供所需的颜色、防污和防刮痕涂层。

Evatec的工艺能力也支持其他应用，包括为医疗应用中的高性能数字式X射线探测器制造的基于CsI / TlI的闪烁体。Evatec的BAK1401大面积镀膜和BAV2000箱式镀膜机台提供的蒸发解决方案采用了定制的源技术，在数字式X射线探测器的闪烁体制造中提供了精确的化学配比和柱状层结构。