欢迎来到 The Thin Film Powerhouse,作为薄膜技术的全球领导者,我们不仅设计和制造工业用生产机台,同时为全球领先的研发机构提供定制工程解决方案。
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我们的技术已经塑造世界70余年。
了解更多关于我们公司,我们的产品,以及Evatec 薄膜是如何无处不在的应用于我们的日常生活中。
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我们的公司愿景
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我们致力于在先进封装,半导体,光电和光学的核心市场提供完整的生产解决方案。选择相关市场,了解Evatec 解决方案如何给您带来领先优势。
想了解更多?让我们为您提供相关的市场最新信息。
芯片,晶圆和面板级工艺方案
芯片,晶圆和面板级工艺方案(WLCSP, FOWLP, FOPLP, 2.5D, 3D, IC)
专业金属化和薄晶圆加工
受益于Evatec 在功率器件应用方面的长期经验,可提高MOSFET, IGBT, IGCT, LDMOS, SiC和GaN等功率器件的批量生产的生产率,工艺稳定性和良率。
薄膜应用于感应,驱动和磁性
了解Evatec 技术应用于集成稳压器 (IVR) 中的RF-MEMS,传感器,执行器,TFH和软磁的金属,电介质和高级功能材料(磁和压电)的更多信息。
使用蒸镀或溅镀技术的RF滤波器件
我们的镀膜工艺针对金属,触点和电极,压电材料和电介质。包括GaAs上的HBT,GaN上的HEMT技术,IR器件以及RF滤波器件(SAW和BAW)。
LED和高性能光电解决方案
了解Evatec 成熟的机型和PVD工艺组合如何在全球领先的(O)LED芯片,Micro LED和VCSEL等制造商的日常生产中,提高性能并降低每流明成本。
采用先进工艺控制的光学镀膜
从晶圆级光学到 3D 镀膜,从精密光学器件到装饰性和功能性薄膜,阅读更多关于 Evatec 生产解决方案的信息,这些解决方案采用先进工艺控制 (APC) 技术实现极佳的重复性和产能。
刻蚀,蒸镀,溅射和PECVD工艺专业技术是我们生产设备的核心。我们的先进工艺控制(APC)技术能提高产能,提升良率,降低运营成本。
想了解更多?我们很乐意为您发送技术更新信息。
丰富的蒸镀及溅镀专业技术知识
了解Evatec 的蒸镀和溅镀技术如何帮助您提高产量并降低成本。
用于薄膜特性变更或薄膜层去除的等离子技术
从敏感薄膜的特性改变到高速率薄膜的去除,更多相关信息请参阅Evatec 等离子技术在晶圆或面板级应用。
在低工艺温度下提供高质量镀膜
了解使用PLASMABOX® 技术的Evatec PECVD工艺,以及如何通过确保均匀性的热量分布和极低的交叉污染来提供最佳的薄膜质量。
提高薄膜工艺的精度和良率
了解 Evatec 的先进工艺控制技术 (APC) 如何帮助您提高薄膜工艺的精度和良率。
根据您的应用,基板形式和产量要求,我们提供一系列批量式,集群式和连续式平台架构。配备蒸镀,溅镀,刻蚀和PECVD源科技。我们有超过50多年的工艺和专业生产技术。选择一个机型来了解其硬件和工艺能力。
想了解更多?我们很乐意为您提供产品的最新信息
有50年工艺知识,蒸镀距离从0.5至2.0米的蒸镀机
目前全球已安装超过2,000台BAK机台,我们将带您了解为何BAK能成为跨半导体,光电和光学的业界标准蒸镀机。
Cluster系列机台,最大可处理650mm 的晶圆或面板
CLUSTERLINE® 系列有最大可处理尺寸为650mm 晶圆或面板的设备机台,在所有Evatec核心市场中,以最安全的传送和最先进的工艺赢得市场的盛誉。
先进封装中晶圆级工艺的优势
应用在300或200mm晶圆上,提供业内最高产量及最低Rc, HEXGON是能让您在UBM, RDL的Fanout中处于领先地位的机台。
金属,介质和磁性薄膜用立式溅射机台
紧凑的设计和灵活性使立式批量溅射机台非常适用于金属,介质层和磁性薄膜,性价比极高,基板尺寸高达200x230mm。
超高产能全自动连续型生产解决方案
SOLARIS® 系列是专为全自动化工厂生产设计而生。最大基片尺寸可达8英寸 (SOLARIS® S151机台) 或15英(SOLARIS® S380机台)。应用领域涵盖了从触摸屏面板到电磁屏蔽,功率器件到光伏电池。
从最初的安装计划开始,我们的全球客户服务团队就将在机台的整个周期内为您提供帮助。了解我们可以提供的服务。
想了解更多?我们很乐意为您提供关于我们公司和服务解决方案的最新消息。
Evatec客户服务 - 快速浏览我们能提供的一切
详细了解服务组合,充分利用Evatec 机台。
快速高效 - 提供建议找出您需要的备件并安排快速交付。
”现场"或"远程支持" - 由您选择
除了解决紧急的机台停机外,还有许多其他方法可以帮助您最大程度地利用Evatec 生产设备。
延长Evatec 的机台的使用寿命
解决老龄备件停产的问题及通过新增硬件和工艺功能加强Evatec 机台的利用率,了解我们如何为您提供帮助。
来我们瑞士总部,或让我们的培训师来拜访您,或使用最新的远程技术。我们合格的培训师随时准备为您提供帮助。
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即将举办的活动日程
获取即将举办的活动的详细信息,您可以来听我们的演讲或在展位上与我们会面
了解为什么 Evatec 的 CLUSTERLINE® 300 是满足不断增长的 300mm 工艺需求的理想平台,以及 Evatec 的工艺专有技术如何实现高性能厚铜层。
Evatec 专家分享在Si 或 SiC 上功率器件正面接触的最新形成技术趋势和解决方案。
在《LAYERS 8》中了解 Multi BAK 概念如何为无线通讯、功率器件和光电子领域的芯片量产提高工艺可重复性和产能。
我们的CTO - Carlo Tosi 博士与您分享 Evatec 的创新过程、我们如何帮助客户以及他对未来充满期待的缘由。
首席执行官Andy Waelti 介绍我们的周年纪念版《LAYERS》,回顾过去 20 年,展望未来 20 年。
和我们一同庆祝吧!深入阅读《LAYERS 8》,这里有访谈内容、Evatec发展历程的故事,以及半导体和先进封装、化合物和光子学领域的最新薄膜技术资讯。
观看最新的全球大趋势视频,了解Evatec薄膜生产解决方案如何塑造新的世界
在我们的BAK系列宣传册中了解最新一代的BAK蒸发台
Evatec的专家告诉我们SiC等宽禁带(WBG)材料在新兴功率器件应用中可以发挥重大作用的原因。
首席执行官 Andy Waelti 告诉我们,为了满足客户在 2023 年的需求Evatec所采取的行动,并介绍了新的 LAYERS 杂志。
我们第7期薄膜技术杂志 "LAYERS "刚刚发行。现在就来了解一下里面的内容,并订阅吧。
Evatec刚刚完成了ISO 9001和ISO 14001的重新认证程序,直到2026年。我们也为获得ISO 45001认证而感到自豪。
更容易装载,更好的真空条件,甚至更好的重复性——有什么理由不喜欢呢!了解更多信息。
Andy Waelti 荣获瑞士 2022年度企业家奖
随着最一代CLUSTERLINE® 300设备新型高性能、前沿溅射模块的发布,Evatec半导体事业部开发项目高级经理Kai Wenz透露了他的一些想法。
Evatec的客户服务部总裁Thomas Germann列举了一些Evatec提供的最新客户服务解决方案,让我们对未来有了初步的了解。
Evatec 战略销售和市场总裁Reinhard Benz博士介绍了Evatec在日本扩展业务的进展。
了解面向靶材溅射技术如何提供具有最佳垂直磁各向异性的磁性多层膜,而无需进行沉积后退火
认识Evatec的后台人员为“thin film powerhouse”注入”力量“
Evatec的数字转换项目在3年前就开始了。CTO Marco Padrun回答了数字化对Evatec的意义,我们目前所处的位置,以及它如何帮助我们的公司做好准备,无论我们的道路通向何方。
根据客户的不同应用定制工艺配置实现机台当前的高产能和高性能需求。了解Evatec提供的最优工艺控制和生产力。
LAYERS 6刚刚出版。 快速预览内文并预定纸质版本吧。
Evatec 的产品市场经理Hans Auer和Gernot Engstler向我们概述了CLUSTERLINE® 的正面和背面金属化工艺以及生产解决方案。
CEO Andreas Waelti谈到了持续投资的重要性以及我们近年来进行的投资如何使全球客户受益。
我们的薄膜技术杂志"LAYERS"的第五版现已发行。单击此处了解内容并立即订阅。
Nexperia HH谈到了他们对2020年的愿景,以及与Evatec 等关键合作伙伴合作,成功实现公司增产计划的重要性。
Yole Développement特约作者谈到WBG技术的发展以及在拓展有效供应链方面的挑战。