凭借 BAK 蒸发台平台的各种灵活性，BAK 911 可帮助您将产量提高到新的水平。 简易地装载伞架 ，然后自动传动到真空工艺腔，可确保更好的真空条件、更短的循环时间和最佳水平的工艺可重复性。观看视频，联系您当地的 Evatec 销售和服务办事处以了解更多信息。
为了实现更高水平的自动化，可将最多达 4 个 BAK 911以集群方式配置为Multi BAK 。 前端大气机械手为所有四个工艺单元提供传送，在MEMS、功率器件和无线通讯等典型高产量应用中，这种适用于 6 英寸和 8 英寸的晶圆盒到晶圆盒的解决方案消除了其中所有的手动操作。
