“调谐”垂直磁各向异性

产生垂直磁各向异性（PMA）的磁性多层膜是新兴自旋电子技术的关键组件，例如用于超低生物磁信号检测的磁阻传感器或用于神经形态计算和人工智能应用的非易失性磁存储设备。您可以看到，在EMPA，伯尔尼大学和EVATEC科学家已经能够控制的Co（0.4纳米）/Pt（0.7纳米）多层膜的磁特性，通过控制溅射电压在钴层的生长由面向靶材阴极。结果表明，将溅射电压提高到150V会导致晶体织构的改善，这导致更大的磁各向异性以及增加的面外矫顽场。然而，在540V的较高阴极电压下，晶体织构质量略微恶化，这伴随着有效各向异性的降低。使用对靶阴极溅射，可以在不进行任何热处理的情况下控制多层膜的晶体结构，这可以用于优化特定应用中Co/Pt多层膜的磁性。

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