ECL - 尖端实验室

Evatec 的新实验室不仅是我们产品的展示馆，而且还是一个竞争中心。但是“竞争”是什么意思？我们将"竞争"理解为专有技术，技能和能力的组合。Evatec 的尖端实验室（ECL）还将成为技术传递，网络和团队合作的场所。这样，ECL团队可以更好地支持Evatec 的客户打样和工艺开发。ECL经理Dominik Jaeger带我们展望新实验室。

ECL – 成长中的公司的正确选择

像我们这样快速成长的公司需要一个适合未来的开发的基地。我们将设备和人员聚集在一起，这样的环境针对最佳样品生产，网络，信息交换和创造性思维进行了优化。2018年底开始实验室搬迁工作。

ECL – 测量技术和技能

Evatec 测量实验室（Evatec Measurement Laboratory EML）位于ECL的洁净室中 (ISO 6),该实验室包含各种测量仪器。它处于EML中心位置，目的是缩短镀膜到测量的距离，并减少在基板上产生额外颗粒的风险，从而可以进行更精确和精细的分析，并最终加快工艺开发速度。同时，它将成为测量工具专家的中心 (从机械步进到高端纳米技术工具),例如X射线衍射 (XRD，D8 Discover，Bruker), 原子力显微镜 (AFM，NP20X，Park),扫描电子显微镜 (SEM，Jeol),包括能量色散X射线光谱法，用于元素分析。AFM为我们提供有关表面形貌的信息，分辨率在亚纳米范围内，而XRD使我们能够洞悉薄膜中的晶粒，从而确定晶体结构，晶格距离，晶粒宽度，晶体质量和晶体取向。使用X射线反射仪，我们能够确定薄膜厚度 (通常从几纳米到150纳米) 和粗糙度，包括多层系统的厚度及其界面粗糙度。此外，我们还能够通过测量仪器的极图和相互的空间图，从而对我们的膜层结构进行更复杂的分析。EML还将为能够实现有效率的打样以及研发相关的任何测量工具提供技术和科学支持。

以上内容摘自LAYERS 4 刊发于2018/2019的文章，阅读全文请点击此处。

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