LAYERS 5 - 等离子辅助SiO2用于TC-SAW设备

Evatec 的工艺工程师Hokwon Kim，科学家Edmund Schuengel和产品市场经理Carlo Tosi解释了TC-SAW设备温度补偿的重要性，以及在CLUSTERLINE® 上进行等离子增强的反应磁控溅射镀膜如何提供经济高效的制造解决方案。

温度补偿膜层是关键

应用于新的5G的快速，高效的通信推动了众多通信设备的射频（RF）滤波器技术的飞速发展。商用射频滤波器设备中最成功的一种类型是表面声波（SAW）滤波器。这些利用在压电基板上的叉指式换能器（IDT）电极配置来将表面声波与电信号耦合，谐振频率通常在10 MHz至3 GHz范围内。高质量的温度补偿层（通常为SiO2）封装了TC-SAW器件的IDT结构，对于确保高性能至关重要。图1说明了所需的典型结构。

阅读全文请点击此处。

文章仅提供英文版本