LAYERS 8 - PEALD：CLUSTERLINE®系列的新成员

技术开发经理 Dominik Hartmann 和首席科学家 Joerg Patscheider 博士介绍了用于等离子体增强原子层沉积 (PEALD) 的新模组。作为 CLUSTERLINE® 200 系列产品的工艺模组之一，客户可将其与溅射、蚀刻和 PECVD 等成熟技术自由组合，每个集群最多可配置六个模组。

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