SilTerra 选择 Evatec

Evatec 的CLUSTERLINE® 200 II机台自2020年5月开始在SilTerra的工厂中投入使用，现已用于MEMS设备压电薄膜的镀膜。这些设备包括SilTerra的专利压电微机械超声换能器 (PMUT),表面声波 (SAW) 谐振器，体声波 (BAW) 谐振器和压电声传感器。

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