SilTerraがエバテックを選択

2020年5月からSilTerraのファブで稼働しているエバテックのCLUSTERLINE®200IIは、MEMSデバイス用の圧電薄膜の成膜用に展開されています。 これらのデバイスには、SilTerraの特許取得済みの圧電マイクロマシン超音波トランスデューサー（PMUT）、弾性表面波（SAW）共振器、バルク音響波（BAW）共振器、および圧電音響センサーが含まれます。

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