SMART Centerの「成功への早道の」圧電素子

マサチューセッツ州ボストンにあるノースイースタン大学SMARTセンターは、そのナノファブリケーション機能にエバテックのCLUSTERLINE®200を追加しました。

学術機関と装置メーカーであるエバテックのパートナーシップは、最先端の圧電材料とデバイスの開発を加速するのに役立ちます。 CLUSTERLINE®200は、SMART センターとその科学者チームに、研究開発だけでなく、高性能圧電マイクロおよびナノシステムのパイロット製造を実行するための最先端の機能を提供します。 エバテックのCLUSTERLINE®200を使用することで、結晶化度、応力、化学量論、均一性を非常に良好に制御して、8インチ基板上に窒化アルミニウム（AlN）とスカンジウムをドープした窒化アルミニウム（ScAlN）圧電薄膜を成膜できます。

「これは、いくつかのファウンドリサービスで利用できる装置と同じであり、生産実績があり、用途が広く、スケーラブルな製造プロセスを使用して、最先端のセンシング、計算、通信のマイクロ/ナノデバイスのプロトタイプを作成できます。また、私たちの新技術の商業および国防総省のニーズに対応するシステムおよび製品への移行を加速するために不可欠です」と、ノースイースタン大学SMARTセンターのディレクターであるProfessor Matteo Rinaldiは述べています。

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注意：全文は英語でのみご利用いただけます

注：画像は、ノースイースタン大学の写真家であるRuby Wallauの好意により複製されました。