ECL – それは価値ある場所

エバテックの新しいラボは、当社の製品のショーケースであるだけでなく、コンピテンスの場でもあります。しかし、「コンピテンス」とはどういう意味ですか？私たちは「コンピテンス」をノウハウ、スキル、能力の組み合わせとして理解しています。 エバテックのコンピテンスラボラトリー（ECL）は、ノウハウの移転、ネットワーキング、チームワークの場にもなります。このようにして、ECLチームはエバテックでのお客様のサンプリングとプロセス開発をより適切にサポートできます。 ECLマネージャーのDominik Jaegerが、新しい施設の概要を説明します。

ECL  – 成長する企業にとって正しいこと

私たちのような急速に成長している企業は、将来に適した開発施設を必要としています。私たちは、最高のサンプル製作、ネットワーキング、情報交換、創造的思考のために最適化された環境で、機器と人を結び付けています。ラボへの入居は2018年末に開始されます。

ECL  – 測定技術とスキル

クリーンルーム（最小ISO 6）のECL内に収容されるのは、さまざまな測定機器を含むEvatec Measurement Laboratory（EML）です。その中央の場所は、輸送距離と基板上での追加のパーティクル生成のリスクを減らし、より正確で精巧な分析を可能にし、最終的にはプロセスのより迅速な開発を可能にします。 EMLは、機械的ステッパーのような単純な段差測定ツールから、X線回折（XRD, D8 discovery, Bruker）、原子力顕微鏡（AFM, NP20X, Park）、元素分析用のエネルギー分散型X線分光法を含む走査型電子顕微鏡（SEM、Jeol）などのハイエンドナノテクノロジーツールまでの専門家のためのセンターになります。 AFMは、サブナノメートル範囲の分解能で表面トポグラフィーに関する情報を提供し、XRDは、フィルム内の結晶粒子に関する洞察を提供し、結晶構造、格子距離、粒子幅、結晶品質、および結晶配向の決定を可能にします。 X線反射率法を使用して、多層システムの厚さとそれらの埋め込み界面の粗さを含む、膜厚（通常は数nmから150nmまで）と粗さを決定できます。さらに、計器の極点図と逆格子空間マップを測定して、フィルム構造をさらに高度に分析することができます。 EMLは、効率的なサンプリングとR＆Dを可能にするあらゆる測定ツールに関する技術的および科学的サポートも提供します。

これは、LAYERS 4. Edition2018 / 2019の記事からの抜粋です。記事全文を読むには、ここをクリックしてください。

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