LAYERS 5 - ハイブリッドモードの光学モニタリング

高信号品質のブロードバンドモニタリングにより、光干渉コーティングを成膜するときに、同じプロセスでブロードバンドと単色の両方の層終端アルゴリズムの使用を可能とします。 エバテックのStephan Waldner、Juergen Buchholz、およびRico Benzは、バンドパスフィルターと吸収層を使用したケーススタディを紹介し、このような「ハイブリッド」アプローチがどのように最も正確な層終端につながるかを示します。

概略

光学干渉コーティングの開発と製造のための最先端の蒸着システムの重要なコンポーネントは、“In-Situ”での光学モニターです。 膜成長中の製品または特定のモニター基板の透過率または反射率を測定することにより、コーティングの実際の光学性能に基づいて各層の成膜完了を制御できます。

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