LAYERS 5 - 高速追跡プロセスの開発

強化された薄膜特性評価および測定ツールを備えたラボ環境は、お客様が新しいプロセス開発をスピードアップするのに役立つ完璧な方法です。 エバテックのCTOであるMarco PadrunとECLマネージャーのDominik Jaegerは、300mmでの「フロントサイドメタライゼーション」プロセスを分析した最近のケースのストーリーを使用して、ECLがすでに十分に利益に寄与していることを示しています。

フロントサイドメタライゼーション – パーティクル制御が必要な場合、CLUSTERLINE®300は、パワーデバイスとウェーハレベルパッケージングの両方のアプリケーションで300mmメタライゼーションプロセスの市場ですでに十分に確立されています。しかし、お客様はますます厳しいパーティクル要求を達成する必要があるため、パーティクルの潜在的な発生源と適切な改善策の特定が不可欠です。最新のパーティクル測定装置を含む一連の特性評価機器を備えた新しいEvatec Competence Laboratory（ECL）は、この課題に取り組むのに最適な環境です。

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