完全に自動化された独立した生産の時代は、SOLARIS®インラインスパッタツールを使用してここにあります。シニアプロダクトマネージャーのStephan Voserが、ボタンを押すだけで、SOLARIS®が拡張現実などの既存および今後のアプリケーションのあらゆる光学薄膜プロセスを完全に自動化された方法で簡単に処理できる方法について説明します。
6インチまたは8インチの基板を保持するカセットは、フロントエンドのオペレーターによってロードされ、レシピが選択されます。オペレーターが「GO」を押すと、装置が残りの作業を行います。キャリアのロード、装置へのロード、アンロード、そして最後にすべての「良好な」コーティングされた基板を元のカセットにアンロードします。
こちらは、LAYERS 4. Edition2018 / 2019の記事からの抜粋です。記事全文を読むには、ここをクリックしてください
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