なぜ先端プロセス制御（APC）？

APCは半導体業界の生産での精度を、スマートフォンでの3Dセンシングおよび顔認識用のような次世代「ウェーハレベル光学系」の生産や、次世代のRFデバイスとソリッドステート照明用に必要な層の屈折率、厚さ、表面品質を制御するための重要な光学プロセスに使用される層制御技術の生産にもたらします。

層形成速度と厚さの制御

In-Situ再最適化を備えたエバテックのクォーツおよび光学モニタリングが、高価値基板への貴金属および複雑な誘電体スタックの堆積において優れた生産管理をどのように提供するかをご覧ください。

化学量論制御

金属合金の共蒸着から誘電体層のスパッタリングまで、最高の堆積速度で正しい化学量論と屈折率を確保するための制御技術を提供します。

膜応力測定

蒸着装置とスパッタリング装置の両方で利用可能で、その場応力測定から得られたノウハウにより、薄いウェーハや光学基板への成膜中の曲げや、割れのない厚いスタックの堆積を管理できます。

Unicalc

Unicalcシェイパーモデリングは、材料費を削減し、BAKプラットフォームでの蒸着プロセスのスループットを向上させます。 Unicalcのパンフレットを見るには、ここをクリックしてください

熱管理

エバテックのの閉ループ温度制御により、プロセスが最適化され、基板が損傷から保護されます。

ターゲット＆シールドライフ

エバテックのノウハウは、最大の生産量と最小のコストオブオーナシップを実現するために、ターゲットとシールドの寿命を延ばします。

高度なプロセス制御技術は、アプリケーションに応じて、さまざまなエバテックの生産プラットフォームで利用できます。個々の技術の詳細については、個々のタブをクリックするか、ここをクリックしてお問い合わせください

クォーツモニタリング

広範囲の真空蒸着プロセスにわたって、成膜速度と膜厚を正確かつ確実に制御します。 エバテック独自の新しいQCM500コントローラーは、精度の向上、水晶振動子間の切り替え時間の短縮、5または6MHzの動作、および単一のコントローラーからの複数のヘッド管理を提供します。 QSK621クォーツヘッドは、BAKプラットフォームでの多くの真空蒸着プロセスに理想的なソリューションです。完全なKhanコントロールでは、プロセス中にクオーツが寿命となっても、バックアップのクオーツに簡単に切り替えて、バッチ蒸着プロセスを損失なく完了することができます。より厚い層やより複雑なプロセスの場合、12個のクオーツヘッドが新規装置やレトロフィットに適応可能です。

QSK300シングルヘッドは、共蒸着プロセスでのシングルソースモニタリング用に設置でき、シングルヘッドとマルチヘッドの両方にチョッパー技術を取り付けて、厚膜化への対応やクオーツの寿命を延ばすことができます。

光学モニタリング

高輝度LEDの光出力を最大化するために必要な高反射率DBRミラーから、次世代スマートフォン向けの新しい3Dセンシングおよび顔認識技術まで、私たちの世界は、正確な光干渉コーティングの費用効果の高い成膜に依存しています。次世代のモバイルネットワークやパワーデバイスでも、薄膜プロセスでは、従来の制御技術では達成できない精度でお客様特有の誘電体スタックを堆積することがますます求められています。

GSM1101は標準的に汎用性が高く装備されています。制御技術として、UV、VIS、またはNIR波長範囲での薄膜の光学性能の直接測定を使用します。単色またはブロードバンド動作用に、または両方の組み合わせを使用して構成できます（つまり、「ハイブリッドモード」）。実際の基板上で、またはテストガラス上で間接的に反射率または透過率を測定でき、エバテックの広範囲の真空蒸着またはスパッタリングプラットフォームに搭載できます。 GSM1101は、インライン成膜システムの閉ループ制御のために、成膜された多層スタックを測定および分析することもできます。

GSM1101のメリットは次のとおりです。

• 　精度と再現性の向上
• 　プロセス分析のための層ごとのスペクトル測定データ
• 　より高い歩留まりのためのIn-Situ再最適化技術
• 　超薄金属層の制御
• 　インライン成膜装置での閉ループ膜厚制御

GSM光学モニタリングのパンフレットをダウンロードするには、ここをクリックしてください。

化学量論組成制御

プロセスの途中での完全に自動化された能動的レシピ調整により、高精度の光学コーティングの歩留まりを向上させることができます。 In-situ再最適化は、光学薄膜の成膜プロセスが中断したときにそれを確認し、残りの層を調整して最終的な光学膜スタックが意図したとおりになるようにする強力で効率的なツールです。これを使用することで、プロセスを回復することで予期しないプロセス中断が発生した場合のスクラップを排除し、新しい設計のプロセス開発時間を節約し、歩留まりを向上させます。

エバテックの閉ループプロセス制御技術により、蒸着プロセスとスパッタリングプロセスの両方で正確な化学量論組成制御を備えたコーティングが可能になります。ライブモニタリングシステムに基づいて、信頼性と再現性のある方法で目的の膜組成が達成されます。革新的なソリューションにより、大量生産で必要な短いプロセス時間が可能になります。

スパッタリング成膜

優れた品質の酸化物および窒化物層を高速で成膜します。先端のプラズマ発光モニタリング（PEM）技術を使用して、バッチおよびクラスター反応性マグネトロンスパッタリング成膜のプラットフォームの領域で、誘電体と透明導電膜の正しい化学量論組成と高速成膜を確実に実現します。 1つまたは複数の特徴的なプラズマ発光ピークの強度と他のプロセスパラメータをモニターします。

金属酸化物または窒化物プロセスの理想的なプロセス領域は、専門の知識によって決定されます。この反応性成膜のプロセス領域は、プロセス全体を通して維持されます。これにより、優れた膜特性を維持しながら、処理時間を短縮することができます。ターゲットの汚染によるドリフト、アーク（粒子）、および低下した稼働時間の改善の問題が解消されます。確かなフィードバックループアーキテクチャと反応性ガス導入口の高速応答時間により、エバテックのPEMテクノロジーは誘電体薄膜製造に不可欠なコンポーネントとなっています。

真空蒸着

異なる材料で構成された薄膜に興味がありますか？ エバテック独自のQCM500クォーツコントローラーを使用した最大4つの個別のソースの閉ループクォーツモニタリングにより、エバテックの一連のBAK真空蒸着でボート、EBガン、またはエフュージョンセルソースから合金を正確に成膜できます。エバテックのクオーツベースの成膜レートモニタリングシステムは、BAKプラットフォームの不可欠な部分であります。たとえば、複数の材料を混合し、バッチ全体の厚さの均一性を制御するための最先端の成膜技術を促進します。

In-Situ再最適化

プロセスの途中において完全に自動化された能動的レシピ調整により、高精度の光学薄膜の歩留まりを向上させることができます。 In-situ再最適化は、光学薄膜の成膜プロセスが中断したときにそれを確認し、残りの層を調整して最終的な光学膜スタックが意図したとおりになるようにする強力で効率的なツールです。これを使用して、プロセスを回復することで予期しないプロセス中断が発生した場合のスクラップを排除し、新しい設計のプロセス開発時間を節約し、歩留まりを向上させます。

再最適化のパンフレットを表示するには、ここをClickしてください

In-Situ再最適化のメリット

• 完全に自動化されたプロセス、プロセス時間の増加なし
• 複雑なスタック設計の歩留まりを最適化します
• 予期しないプロセスの中断後に生産バッチを回復します
• エバテックのOptics Tool Boxを備えたBAKエバポレーター、MSPスパッタリング、およびCLUSTERLINE 200BPMスパッタリングクラスタープラットフォームで利用可能
• フリップ機能を使用した両面光学コーティングに使用可能
• SOLARIS®およびCLUSTERLINE®200プラットフォームでの多層成膜および閉ループフィードバックの分析に使用可能

再最適化ループ

リアルタイム最適化では、すべての層の成膜中だけでなく、すべての層の終わりでも、In-SituでGSMブロードバンド光モニタリングを使用します。層の終了後の実際の光学性能は、事前に計算されたものと比較され、偏差がユーザーが設定したレベルよりも大きい場合は、残りの成膜レシピが調整されてプロセスが継続されます。再最適化は、スタック全体が完了するまで、すべての層の後に繰り返し実行されます。結果を確認するには、再最適化パンフレットを表示またはダウンロードしてください

Optics Tool Box

薄膜プロセスの開発におけるステップを統合するための完璧なツールOptics Tool Boxは、あなたの生活をシンプルにします。これは、初期設計から、各層の最適なエンドポイントのための開発、実際の成膜レシピの生成、そして最後に成膜装置での成膜実行自体まで、すべての光学薄膜開発プロセスを統合します。BAK真空蒸着およびMSPまたはCLUSTERLINE®200BPMスパッタリングプラットフォームで使用できます。

Optics Tool Boxの利点

• 業界標準の薄膜設計ソフトウェア（FilmstarTM、OptilayerTM、またはEssential MacleodTM）を使用します
• シームレスな統合により、プロセスレシピ設定のエラーを排除します
• セットアップコストを削減し、スループットを向上させます
• すべてのプロセス処理の各層の光学モニタリングデータを便利に管理、分析、比較できます

複雑な成膜を短時間で開発する必要がありますか、それとも厳しい公差で作業する必要がありますか？

現在、エバテックの装置は、GSM光学モニターを使用してすべての層の後にその場で光学性能をチェックし、その後のプロセスを調整して、最終的な光学スタックの性能が理論設計とさらに厳密に一致するようにします。 In-Situ再最適化で時間とコストを節約する方法をご覧ください。また、GSM Optical Monitoringの詳細を確認したり、GSMパンフレットをオンラインで表示したりすることもできます。