特別なチャンバーサイズ、特別なソース、ツーリングソリューション、または研究開発に適したシステムが必要ですか？

カスタムビルド

• 　　カスタムチャンバー構成を設計するために、エバテックの設計チームと機械工学チームにアクセスします
• 　　アプリケーションスペシャリストを通じて、新しいソースとプロセス制御技術を開発します
• 　　あなたの大学または研究機関の研究用装置を構成します

唯一の制限はあなたの想像力です

• 　　特殊な形状、ソース設計、プロセス制御技術のオプションが多数用意されているため、標準ポートフォリオ内で要求を満たすものが見つかることを願っています。しかし、わたしたちは世界中に提供した2000台を超えるシステムの歴史全体の機械工学ソリューションと特別なソース設計にアクセスできます。お客様に適切なカスタムBAKデザインを提案することができます。 BAK UNIは、特に大学や研究機関のニーズに焦点を当てたエバテックのシステムの一例にすぎません。

カスタムビルドへのわたしたちのアプローチについてのご質問、BAK UNIの機能とオプションについて詳しくは、お問い合わせください

基板処理量が限られている小型システムに理想的であり、この前面からの搬送システムにより、キャリアの各位置にロードされるまで、プロセスチャンバーを成膜用に真空下に保持することができます。 メンテナンスまたはソース補充のためのチャンバーへのアクセスは、クリーンルームではない部屋で実施します。

アシスト付きドームのロード/アンロード（「Lazy Susan」）

プリロードされたドームは、大気圧で正面のドアから搬送されます。 幅広いシステムサイズで利用できるこのシステムは、積載高さが手動処理を困難にする場合、または積載されたキャリアが重い場合に理想的です。2番目のロード/アンロードステーションを統合して、全体的な処理時間を短縮できます。

カセットToカセット（「BAK Autoload」）

8インチのウェーハサイズまで、BAK Autoloadはウェーハの手動処理を完全に排除し、時間を節約し、オペレーターのエラーを排除し、コストを削減します。 BAK Autoloadは、フラットまたはノッチのウェーハのアライメント、ドームのプリロード、成膜チャンバーのサイドポートを介した完全自動のドーム交換など、必要なすべての手順を処理します。 ロボットと取り扱い環境を正確に制御することで、潜在的な損傷や汚染の原因を回避できます。 基板ロードプロセスに自動的に含めることができるダミーまたは計測用ウェーハを配置することによって、すべてのウェーハを成膜プロセスを通じて追跡できます。

ロードロック付きカセットToカセット（「BAK Autoload Loadlock」）

標準のオートロードバージョンと同様に、ロボットシステムがすべての操作を処理しますが、追加の中間ロードロックチャンバーシステムにより、プロセスチャンバーを真空下に保つことができ、サイクルタイムが短縮され、スループットが向上します。

以下のBAK Autoloadのオンラインデータシートを表示するか、以下のBAKファミリーのパンフレットをダウンロードして、BAKファミリーの機能の詳細を確認してください。

BAK」の名前は50年前のものかもしれませんが、これまで以上に多くの成膜および制御技術を選択できるため、既存のBAKを最新の基準に引き上げて、金属、酸化物、TCOおよび化合物の成膜において新しいレベルのプロセス制御と歩留まりを実現するのに今より最適な時期はありません。

なぜレトロフィットか？

　•　新しい複雑なプロセスを可能にする

　•　プロセス歩留まりの向上

　•　稼働時間を増やす

　•　プロセスの追跡　–　データロギングとQA

　•　製造中止された部品の交換

成膜装置のパフォーマンスを向上させる

アップグレードを通じて、新しいレベルの成膜装置のパフォーマンスを実現します。 既存のBAKの改造の可能性について詳しくは、ここをClickしてパンフレットをダウンロードしてください。