SOLARIS®スパッタリングプラットフォームは、5000台を超える高速光ディスク用システムを納入したノウハウと、3000台を超える半導体用PVD装置から得られた経験を組み合わせて、薄膜の大量生産における新しいアプローチを提供します。 「インライン」アーキテクチャを備えたSOLARIS®プラットフォームは、「完全に自動化された工場」向けに設計されており、スループットを向上させ、手動処理を排除します。 タッチパネルからEMIシールド、熱電発電機、パワーデバイス、太陽光発電まで、S151およびS380プラットフォームは、剛性および柔軟性のある基板向けの柔軟な高速生産ソリューションを提供します。