LAYERS 5 - OLED ON CMOSを実現するITO DEP＆ETCH

エバテックのプロダクトマーケティングマネージャーであるFranz Xaver  Lenherrは、300mm基板での次世代OLED on CMOS用のアノードを製造するために、どのようにスパッタリングとエッチングにおける30年のノウハウを活用し、CLUSTERLINE®300でのITO成膜とITOエッチングプロセスの開発を迅速に進めたか語ります。

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