LAYERS 5 - 低損失CMOS

情報のキャリア媒体として光子が電子に置き換わるシリコンフォトニクス（SiP）は、20世紀の2つの最も重要な発明、すなわちシリコン集積回路（IC）と半導体レーザーの組み合わせです。 エバテックのプロセスエンジニアであるAndreas Friggが、CLUSTERLINE 200での反応性スパッタリングが、データセンターの急速な成長を可能にする導波路などのアプリケーション向けの費用効果の高いSiN成膜のための有望な新しいプロセスであると説明します。

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