LAYERS 6 – 300mm裏面メタライゼーション工程

プロセス管理改善と生産性向上            

生産性やパフォーマンスにおける最新の高い需要は、顧客のアプリケーションに応じて、プロセス構成のテーラーメードを提供することが求められています。裏面メタライゼーションのために多目的なCLUSTERLINE® 300 PVD システムは、プロセスの結果とコストを最適化するために特化した設定をご提供します。蒸着時のウエハー冷却の間の温度調節が、最適化の鍵です。エバテックのGerald Feistritzerが、 最新の凹型チャックのソリューションと静電チャック（ESC）技術を比較し、薄膜とTAIKOウエハーのための特化した設定の利点を実証します。

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