LAYERS 8 – PEALD: CLUSTERLINE® の新製品

技術開発マネージャーの Dominik Hartmann 氏と主任科学者の Joerg Patscheider 博士が、プラズマ強化原子層堆積 (PEALD) 用の新しいモジュールを紹介します。CLUSTERLINE® 200 ファミリーで利用可能なモジュールの 1 つとして、お客様はスパッタ、エッチング、PECVD などの確立された技術とともに、クラスターあたり最大 6 つのモジュールの構成で自由に組み合わせることができます。

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