BAK 941- 素晴らしい装置をさらに高みへ

2017年の終わりにLAYERS 3において、より処理能力の高いドライブと単一のバッチで24枚のウエハーを処理するBAK1401のような、より大きなシステムへのシフトにつながった8インチサイズのウエハーを発表しました。Eガンソース用のワイヤーフィーダーテクノロジーを備えたスプリットチャンバー構成の中で、いわゆるBAK1401スプリットチャンバーシステムは、プロセスに応じて10～20％高い処理能力を実現します。ただし、最も要求の厳しいプロセス仕様にとって重要なのは、ソースチャンバーが真空下にあるスプリットチャンバー構成により、プロセスの再現性や、他の方法では不可能な好感度のコーティング材料を処理する機能が常に向上していくことです。エバテックでは「素晴らしい」処理能力をさらに高みへと押しあげます。エバテックのMartin Kratzerに聞いてみましょう。

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