BAK911 - アウトプットのステップアップ

BAK蒸着装置のプラットフォームのすべての柔軟性をはじめ、BAK911は、アウトプットの新しいレベルにし生産性向上に有用です。ロックを介してプロセスチャンバーに自動移送する前にキャロットを便利にロードすることで、より良い真空条件、より短いサイクルタイム、および最高レベルのプロセス再現性が保証されます。詳細につきましては、こちらの ビデオをご覧になりお近くのEvatecのセールス＆サービスオフィスにご連絡ください。

さらに高度な自動化を実現するには、マルチBAKのクラスター設定で最大4つのBAK911を構成してみてはいかがでしょうか。フロントエンドの大気ロボットが4つのプロセスモジュールすべてに対応するため、この6インチおよび8インチ用「カセットからカセット」ソリューションで、MEMS、電力、およびワイヤレスにわたる高スループットの一般的なアプリケーションすべてにおいてマニュアル操作が不要になります。