手動ロードまたは自動ロード、標準または拡張ロングスローが必要かどうかにかかわらず、最適なシステム構成を選択する前に、適切なサイズのシステムを見つけるのに役立つ概要を参照してください。

私たちのBAKは柔軟なプラットフォームです。 半導体、オプトエレクトロニクス、フォトニクスの全領域の成膜プロセス用に「標準スロー」または「リフトオフ」構成から選択します。 その後、プロセスとファブインテグレーションの要求に応じて、「スプリットチャンバー」と「アシストローディング」オプションを追加できます。

エバテックは、高性能な蒸発源テクノロジーとカスタムツールソリューションの開発に長い経験があります。 エバテックのすべての蒸発源とツールソリューションは、24時間年中無休の生産用に設計されています。

さまざまな構成とアシストロードオプションに加えて、真空蒸着生産プラットフォームでのエバテックの50年の経験から、お客様にぴったりのBAKを構成できます。