"SOLARIS® FAMILY"

1.

SOLARIS® 系列

SOLARIS® 系列是专为全自动化工厂生产设计而生。最大基片尺寸可达8英寸 (SOLARIS® S151机台) 或15英(SOLARIS® S380机台)。应用领域涵盖了从触摸屏面板到电磁屏蔽，功率器件到光伏电池。

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3.

公司简介

我们的技术已经塑造世界70余年。

了解更多关于我们公司，我们的产品，以及Evatec 薄膜是如何无处不在的应用于我们的日常生活中。

4.

物理气相沉积（PVD）技术

了解Evatec 的蒸镀和溅镀技术如何帮助您提高产量并降低成本。

5.

刻蚀技术

从敏感薄膜的特性改变到高速率薄膜的去除，更多相关信息请参阅Evatec 等离子技术在晶圆或面板级应用。

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7.

功率器件

受益于Evatec 在功率器件应用方面的长期经验，可提高MOSFET, IGBT, IGCT, LDMOS, SiC和GaN等功率器件的批量生产的生产率，工艺稳定性和良率。

8.

SOLARIS® S151

S151是专为高产能低能耗生产而设计，应用于需要RTP,PVD,刻蚀或CVD工艺镀膜的领域。如功率器件，光伏太阳能，光学薄膜等，具有高速稳定安全的基板传输系统，最大基片尺寸可达8英寸。

9.

SOLARIS® S380

S380 专为高产能大面积刚性或柔性基板镀膜生产而设计，应用于需要RTP,PVD,刻蚀或CVD工艺镀膜的领域，具有高速稳定安全的基板传输系统，最大基片尺寸可达15英寸。

10.

先进工艺控制（APC）技术

了解 Evatec 的先进工艺控制技术 (APC) 如何帮助您提高薄膜工艺的精度和良率。